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在PET、PI、PDMS和硅片上制作圖形化金屬電極,電極材料包括:金、銀、銅、鋁、等。線寬最小可達(dá)500nm。
圖中是在PET材料上制作的環(huán)形電極,電極縫隙開口2μm,電極厚度120nm